Lengan Silinder Berongga

Kertas Putih Teknikal: Lengan Silinder Silinder Berongga untuk Ruang Proses Termaju

Sains Bahan Perisai Dielektrik & Ketahanan Kejutan Terma

Dalam-persekitaran tenaga tinggi kebuk vakum semikonduktor, komponen tertakluk kepada medan RF yang sengit dan kitaran haba yang pantas. TheLengan Silinder Beronggadireka bentuk untuk menyediakan yang mantapPenghalang Dielektrik. Dengan menggunakan-matriks silikon kristal ketulenan tinggi, lengan ini mengekalkan kekuatan dielektrik yang sangat tinggi walaupun pada suhu melebihi $1000^\\circ\\text{C}$, menghalang "Arcing" dan nyahcas parasit dalam peralatan-voltan tinggi. Tidak seperti lengan kuarza atau seramik yang boleh menyebabkan patah-mikro di bawah perubahan suhu yang pantas, matriks silikon mempunyaiRintangan Kejutan Termadisebabkan kekonduksian terma yang tinggi, yang membolehkan pelesapan haba yang cepat dan seragam merentasi dinding silinder.

Kejuruteraan Bilik Bersih-Pangkalan Proses Gred

Ultra-Permukaan Dalaman Licin untuk Penghalaan Geseran-Rendah:Bahagian dalam lengan adalah ketepatan-diasah ke cermin-seperti kemasan ($R_a < 0.2 \\mu m$). Ini meminimumkan geseran mekanikal dan menghalang "Penjanaan Partikulat" apabila menghalakan probe penderia yang halus, gentian optik atau petunjuk elektrik. DalamKemudahan Pemprosesan Wafer, antara muka licin ini memastikan tiada serpihan mikroskopik dimasukkan ke dalam persekitaran bilik bersih semasa pemasangan atau penyelenggaraan.

Rintangan Luar Biasa terhadap Hakisan Plasma & Serangan Kimia:Diperhalusi khusus untukBilik Vakum, lengan adalah lengai secara kimia kepada gas etsa yang paling agresif dan radikal pembersih. Komposisi ketulenan-nya yang tinggi memastikan bahawa sebarang interaksi permukaan adalah "Tidak-Mencemarkan," mengekalkan ketulenan-atom yang diperlukan untuk penyelidikan bahan lanjutan dan nod proses sub-7nm.

Kestabilan Dimensi untuk Vakum-Penyepaduan Ketat:Dibuat dengan kekonsentrasian yang ketat dan toleransi ketebalan dinding-tebal , lengan kami menyediakan kesesuaian "Sifar-Kebocoran" untuk pengedap gred-vakum dan kelengkapan mampatan. Ketepatan dimensi ini penting untuk mengekalkan tahap-vakum tinggi (UHV) ultra sambil menyediakan pengasingan elektrik untuk-elektrod kuasa tinggi.

Penyahgandingan Terma & Penebat:Lengan bertindak sebagai penampan haba yang berkesan, melindungi elektronik sensitif luaran daripada haba melampauPenebat Relau. Pekali pengembangan terma yang stabil (CTE) memastikan sambungan mekanikal kekal ketat dan{1}}bebas tekanan merentas keseluruhan julat suhu operasi.

Aplikasi Strategik

Perlindungan Maklum Balas Voltan Tinggi-:Pengasingan elektrik dan haba yang boleh dipercayai untuk elektrod kuasa yang memasuki plasma atau ruang vakum.

Penebat Relau & Reaktor Terma:Lengan-ketulenan tinggi,-tidak mencemarkan untuk melindungi probe termokopel dan rod struktur dalaman.

Penghalaan Dalaman Ruang Vakum:Konduit-rendah, ultra{1}}tulen untuk mengurus petunjuk penderia dan talian penghantaran bahan kimia dalam persekitaran yang agresif.

Penyelidikan Bahan Lanjutan:Komponen kestabilan-tinggi yang serba boleh untuk persediaan percubaan yang memerlukan kedua-dua-tahanan suhu tinggi dan integriti dielektrik.

Cool tags: lengan silinder silikon berongga, China berongga silikon lengan silinder pengeluar, pembekal, kilang