Pengelasan Substrat Silicon Carbide

Mengikut sifat elektrik yang berbeza, substrat silikon karbida boleh dibahagikan kepada dua jenis: substrat silikon karbida separa penebat dan substrat silikon karbida konduktif. Substrat silikon karbida separa penebat digunakan terutamanya untuk mengeluarkan peranti frekuensi radio galium nitrida. Dengan mengembangkan lapisan epitaxial galium nitrida pada substrat silikon karbida separa penebat, wafer epitaxial galium nitrida berasaskan silikon dihasilkan, yang boleh digunakan selanjutnya untuk mengeluarkan peranti frekuensi radio galium nitrida. Substrat silikon karbida konduktif digunakan terutamanya dalam pembuatan peranti kuasa. Berbeza daripada proses pembuatan peranti kuasa silikon tradisional, peranti kuasa silikon karbida tidak boleh dihasilkan secara langsung pada substrat silikon karbida. Ia adalah perlu untuk mengembangkan lapisan epitaxial silikon karbida pada substrat konduktif untuk mendapatkan wafer epitaxial silikon karbida, dan untuk mengeluarkan pelbagai jenis peranti kuasa pada lapisan epitaxial. peranti.