Di manakah wafer penggilap wafer silikon digunakan?
Mar 15, 2024
Wafer yang digilap adalah produk yang paling banyak digunakan, dan produk wafer silikon lain dihasilkan melalui pemprosesan sekunder berdasarkan wafer yang digilap.
Wafer yang digilap ialah wafer silikon yang paling asas dengan julat aplikasi terluas. Wafer yang digilap boleh digunakan terus untuk membuat peranti semikonduktor dan digunakan secara meluas dalam cip memori dan peranti kuasa. Ia juga boleh digunakan sebagai bahan substrat untuk jenis wafer silikon lain seperti wafer epitaxial dan wafer silikon SOI.
Oleh kerana lebar garis ciri litar bersepadu terus mengecut dan ketepatan fotolitografi menjadi semakin halus, ketidaksamaan yang sangat kecil pada wafer silikon akan menyebabkan ubah bentuk dan kehelan corak litar bersepadu. Teknologi pembuatan wafer silikon menghadapi keperluan dan cabaran yang semakin tinggi. Saiz zarah dan kebersihan permukaan cip juga mempunyai kesan langsung ke atas hasil produk semikonduktor.
Oleh itu, proses penggilapan adalah penting untuk meningkatkan kerataan dan kebersihan permukaan wafer silikon. Prinsip utama adalah untuk meratakan permukaan wafer silikon semikonduktor dan mengurangkan kekasaran dengan mengeluarkan lapisan kerosakan yang tinggal pada permukaan yang diproses.



